Este instrumento adopta un método de medición interferométrico de cambio de fase óptico sin contacto, no daña la superficie de la pieza de trabajo durante la medición, puede medir rápidamente los gráficos tridimensionales de la microtopografía de la superficie de varias piezas de trabajo y analizar y calcular la medición. resultados.
Descripción del Producto
Características: Adecuado para medir la rugosidad de la superficie de varios bloques patrón y piezas ópticas; la profundidad de la retícula de la regla y del dial; el espesor del recubrimiento de la estructura de ranura de rejilla y la morfología de la estructura del límite del recubrimiento; la superficie del disco magnético (óptico) y la medición de la estructura del cabezal magnético; rugosidad de la superficie de la oblea de silicio y medición de la estructura del patrón, etc.
Debido a la alta precisión de medición del instrumento, tiene las características de medición tridimensional y sin contacto, y adopta control por computadora y análisis y cálculo rápidos de los resultados de la medición. Este instrumento es adecuado para todos los niveles de unidades de investigación de prueba y medición, salas de medición de empresas industriales y mineras, talleres de procesamiento de precisión y también para instituciones de educación superior e instituciones de investigación científica, etc.
Los principales parámetros técnicos.
Rango de medición de la profundidad de irregularidades microscópicas de la superficie
En una superficie continua, cuando no hay un cambio abrupto de altura superior a 1/4 de longitud de onda entre dos píxeles adyacentes: 1000-1 nm
Cuando hay una mutación de altura mayor a 1/4 de la longitud de onda entre dos píxeles adyacentes: 130-1 nm
Repetibilidad de la medición: δRa ≤0,5 nm
Aumento de la lente objetivo: 40X
Apertura numérica: Φ 65
Distancia de trabajo: 0,5 mm
Campo de visión del instrumento Visual: Φ0.25mm
Fotografía: 0,13×0,13 mm
Ampliación del instrumento Visual: 500×
Fotografía (observada por la pantalla de la computadora) -2500×
Matriz de medidas del receptor: 1000X1000
Tamaño de píxel: 5,2×5,2 µm
Tiempo de medición tiempo de muestreo (escaneo): 1S
Reflectividad del espejo estándar del instrumento (alta): ~50%
Reflectancia (baja): ~4%
Fuente de iluminación: lámpara incandescente 6V 5W
Longitud de onda del filtro de interferencia verde: λ≒530nm
Ancho medio λ≒10nm
Elevación del microscopio principal: 110 mm
Elevación de la mesa: 5 mm
Rango de movimiento en dirección X e Y: ~10 mm
Rango de rotación de la mesa de trabajo: 360°
Rango de inclinación de la mesa de trabajo: ±6°
Sistema informático: P4, 2,8G o más, pantalla plana de 17 pulgadas con 1G o más de memoria